dummy metal

dummy metal是为了满足foundry的process window。从foundry的角度来看，如果die上metal density差异很大，CMP时在dense的区域会出现oxide recess，就是oxide和metal一起被磨凹下去了。所以在iso的区域或者说metal density低的地方要加上一些dummy metal防止dense area recess。etch的process里还有一种效应即会使dense area和iso area的etch rate不一样的microloading effect，也可以通过加dummy来改善。另外，如果design里有大块metal的话，也需要在metal中加一些oxide slot防止CMP时产生metal dishing。总之这些东东都是为了保证fab的process，可以稳定地把你design出来的东西批量生产出来，有点design for manufacture的意思。
calibre可以检查并修复density。基本的概念就是指定一个窗口，在窗口内，可以按照rule文件所提供的规则加上需要层次的dummy。可以有一些操作，比如同层次区域可以屏蔽掉，有些不适合加dummy的单元也可以屏蔽掉，等等。最后输出GDS。